回收
首先使用真空泵對氣體回收裝置抽真空到133Pa以下,接著啟動冷凍機組,溫度達到5-10℃時啟動壓縮機。然后設備氣室中的SF6氣體被抽出,經過壓縮、冷凝、過濾、干燥進入儲罐。在儲罐中冷凍形成液態后保存。
充氣
首先使用真空泵對設備氣室抽真空至133Pa以下,待設備氣室內真空度保持穩定30分鐘后,調節減壓閥到0.1-0.7MPa左右(根據氣室要求),打開回充閥,貯存罐中的液態SF6氣自動減壓并汽化回充入設備氣室中,待設備氣室壓力達到規定值時視為完成。
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