真空氣體回收裝置的基本原理

回收

首先使用真空泵對氣體回收裝置抽真空到133Pa以下，接著啟動冷凍機組，溫度達到5-10℃時啟動壓縮機。然后設備氣室中的SF6氣體被抽出，經過壓縮、冷凝、過濾、干燥進入儲罐。在儲罐中冷凍形成液態后保存。

充氣

首先使用真空泵對設備氣室抽真空至133Pa以下，待設備氣室內真空度保持穩定30分鐘后，調節減壓閥到0.1-0.7MPa左右（根據氣室要求），打開回充閥，貯存罐中的液態SF6氣自動減壓并汽化回充入設備氣室中，待設備氣室壓力達到規定值時視為完成。